{"identifier":"nobleid:/w1/20260521/286AF6DC","arkIdentifier":"ark:/48914/w1/20260521/286AF6DC","version":1,"workTitle":"ФОРМИРОВАНИЕ РАСПЛАВЛЕННЫХ ЗОН ПРИ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ ВЗРЫВЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ","workType":"Journal Article","authors":"Скворцов, А.А., Зуев, С.М., Корячко, М.В., Груздев, А.С.","description":null,"workUrl":null,"existingDoi":"10.26201/issp.2019.45.557/def.mater.177","createdAt":"2026-05-21T14:17:18.676886Z","canonicalUrl":"https://nobleid.org/ark:/48914/w1/20260521/286AF6DC.v1"}